Микротвердость пластин кремния, прошедшего геттерирующую обработку СА Вабищевич, НВ Вабищевич, ДИ Бринкевич | 29 | 2005 |
Ion implantation of positive photoresists DI Brinkevich, SD Brinkevich, NV Vabishchevich, VB Odzhaev, ... Russian Microelectronics 43, 194-200, 2014 | 27 | 2014 |
Влияние примесей IIIB и IV групп Периодической системы на микротвердость монокристаллического кремния ДИ Бринкевич, СА Вабищевич, ВВ Петров Микроэлектроника 26 (4), 297-300, 1997 | 25 | 1997 |
Прочностные свойства структур фоторезист–кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+ СА Вабищевич, НВ Вабищевич, ДИ Бринкевич, ВС Просолович, ... Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки, 2016 | 21 | 2016 |
Ионная имплантация позитивных фоторезистов ДИ Бринкевич, СД Бринкевич, НВ Вабищевич, ВБ Оджаев, ... | 20 | 2014 |
Adhesion of diazoquinone–novolac photoresist films implanted with boron and phosphorus ions to single-crystal silicon SA Vabishchevich, SD Brinkevich, DI Brinkevich, VS Prosolovich High energy chemistry 54, 46-50, 2020 | 19 | 2020 |
Свойства кремния, легированного примесью никеля методом диффузии АС Асташенков, ДИ Бринкевич, ВВ Петров Доклады Белорусского государственного университета информатики и …, 2008 | 16 | 2008 |
Модификация приповерхностной области пленки полиимида имплантацией ионов бора АА Харченко, ДИ Бринкевич, СД Бринкевич, МГ Лукашевич, ... Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 94-94, 2015 | 15 | 2015 |
Radiation-induced modification of reflection spectra beyond the ion path region in polyimide films DI Brinkevich, AA Kharchenko, SD Brinkevich, MG Lukashevich, ... Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques …, 2017 | 14 | 2017 |
Modification of Diazoquinone–Novolac Photoresist Films beyond the Region of Implantation of B+ Ions SD Brinkevich, EV Grinyuk, DI Brinkevich, VS Prosolovich High energy chemistry 54, 342-351, 2020 | 13 | 2020 |
Mechanism of the adhesive interaction of diazoquinone-novolac photoresist films with monocrystalline silicon SD Brinkevich, EV Grinyuk, DI Brinkevich, RL Sverdlov, VS Prosolovich, ... Journal of Applied Spectroscopy 87, 647-651, 2020 | 13 | 2020 |
Reflection spectra modification of diazoquinone-novolak photoresist implanted with B and P ions DI Brinkevich, AA Kharchenko, VS Prosolovich, VB Odzhaev, ... Russian Microelectronics 48, 197-201, 2019 | 13 | 2019 |
Fiziko-mekhanicheskie svoistva epitaksial'nykh sloev fosfida galliya [Physicomechanical Properties of Epitaxial Layers Gallium Phosphide] DI Brinkevich, NV Vabishchevich, SA Vabishchevich Vestnik Polotskogo gosudarstvennogo universiteta. Seriya C, Fundamental'nye …, 2010 | 13 | 2010 |
Адгезия к монокристаллическому кремнию пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, имплантированных ионами бора и фосфора СА Вабищевич, СД Бринкевич, ДИ Бринкевич, ВС Просолович Pleiades Publishing, Ltd., 2020 | 12 | 2020 |
Modification of the subsurface layers of polyimide films upon boron-ion implantation AA Harchenko, DI Brinkevich, SD Brinkevich, MG Lukashevich, ... Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques …, 2015 | 12 | 2015 |
Модификация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионами бора и фосфора ДИ Бринкевич, АА Харченко, ВС Просолович, ВБ Оджаев, ... Микроэлектроника 48 (3), 235-239, 2019 | 11 | 2019 |
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ GaP< img src="/get_item_image. asp? id= 17745529&img= FO_1_1. gif" align= absmiddle border= 0> Dy ДИ Бринкевич, НВ Вабищевич, ВС Просолович Неорганические материалы 48 (8), 878-878, 2012 | 11 | 2012 |
Влияние фоновых примесей на формирование дефектов упаковки в пластинах кремния ДИ Бринкевич, ВС Просолович, СА Вабищевич, АН Петлицкий Микроэлектроника 35 (2), 112-116, 2006 | 11 | 2006 |
Formation of radiation defects in silicon at high-energy implantation DI Brinkevich, VB Odzhaev, VS Prosolovich, YN Yankovski Vacuum 78 (2-4), 251-254, 2005 | 11 | 2005 |
Влияние кислорода на поведение примеси золота в кремнии ДИ Бринкевич, ВЛ Крюков, Ф Мерааи, ВВ Петров, ЮТ Тужик, ... Неорганические материалы 29 (12), 1587-1589, 1993 | 11 | 1993 |