Follow
Бринкевич Дмитрий Иванович ( Brinkevich D.I., Brinkevich D., Бринкевич Д.И.)
Бринкевич Дмитрий Иванович ( Brinkevich D.I., Brinkevich D., Бринкевич Д.И.)
Belarusian State University, 4 Nezavisimosti av., 220030, Minsk, Belarus
Verified email at bsu.by
Title
Cited by
Cited by
Year
Микротвердость пластин кремния, прошедшего геттерирующую обработку
СА Вабищевич, НВ Вабищевич, ДИ Бринкевич
292005
Ion implantation of positive photoresists
DI Brinkevich, SD Brinkevich, NV Vabishchevich, VB Odzhaev, ...
Russian Microelectronics 43, 194-200, 2014
272014
Влияние примесей IIIB и IV групп Периодической системы на микротвердость монокристаллического кремния
ДИ Бринкевич, СА Вабищевич, ВВ Петров
Микроэлектроника 26 (4), 297-300, 1997
251997
Прочностные свойства структур фоторезист–кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+
СА Вабищевич, НВ Вабищевич, ДИ Бринкевич, ВС Просолович, ...
Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки, 2016
212016
Ионная имплантация позитивных фоторезистов
ДИ Бринкевич, СД Бринкевич, НВ Вабищевич, ВБ Оджаев, ...
202014
Adhesion of diazoquinone–novolac photoresist films implanted with boron and phosphorus ions to single-crystal silicon
SA Vabishchevich, SD Brinkevich, DI Brinkevich, VS Prosolovich
High energy chemistry 54, 46-50, 2020
192020
Свойства кремния, легированного примесью никеля методом диффузии
АС Асташенков, ДИ Бринкевич, ВВ Петров
Доклады Белорусского государственного университета информатики и …, 2008
162008
Модификация приповерхностной области пленки полиимида имплантацией ионов бора
АА Харченко, ДИ Бринкевич, СД Бринкевич, МГ Лукашевич, ...
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 94-94, 2015
152015
Radiation-induced modification of reflection spectra beyond the ion path region in polyimide films
DI Brinkevich, AA Kharchenko, SD Brinkevich, MG Lukashevich, ...
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques …, 2017
142017
Modification of Diazoquinone–Novolac Photoresist Films beyond the Region of Implantation of B+ Ions
SD Brinkevich, EV Grinyuk, DI Brinkevich, VS Prosolovich
High energy chemistry 54, 342-351, 2020
132020
Mechanism of the adhesive interaction of diazoquinone-novolac photoresist films with monocrystalline silicon
SD Brinkevich, EV Grinyuk, DI Brinkevich, RL Sverdlov, VS Prosolovich, ...
Journal of Applied Spectroscopy 87, 647-651, 2020
132020
Reflection spectra modification of diazoquinone-novolak photoresist implanted with B and P ions
DI Brinkevich, AA Kharchenko, VS Prosolovich, VB Odzhaev, ...
Russian Microelectronics 48, 197-201, 2019
132019
Fiziko-mekhanicheskie svoistva epitaksial'nykh sloev fosfida galliya [Physicomechanical Properties of Epitaxial Layers Gallium Phosphide]
DI Brinkevich, NV Vabishchevich, SA Vabishchevich
Vestnik Polotskogo gosudarstvennogo universiteta. Seriya C, Fundamental'nye …, 2010
132010
Адгезия к монокристаллическому кремнию пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, имплантированных ионами бора и фосфора
СА Вабищевич, СД Бринкевич, ДИ Бринкевич, ВС Просолович
Pleiades Publishing, Ltd., 2020
122020
Modification of the subsurface layers of polyimide films upon boron-ion implantation
AA Harchenko, DI Brinkevich, SD Brinkevich, MG Lukashevich, ...
Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques …, 2015
122015
Модификация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионами бора и фосфора
ДИ Бринкевич, АА Харченко, ВС Просолович, ВБ Оджаев, ...
Микроэлектроника 48 (3), 235-239, 2019
112019
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ GaP< img src="/get_item_image. asp? id= 17745529&img= FO_1_1. gif" align= absmiddle border= 0> Dy
ДИ Бринкевич, НВ Вабищевич, ВС Просолович
Неорганические материалы 48 (8), 878-878, 2012
112012
Влияние фоновых примесей на формирование дефектов упаковки в пластинах кремния
ДИ Бринкевич, ВС Просолович, СА Вабищевич, АН Петлицкий
Микроэлектроника 35 (2), 112-116, 2006
112006
Formation of radiation defects in silicon at high-energy implantation
DI Brinkevich, VB Odzhaev, VS Prosolovich, YN Yankovski
Vacuum 78 (2-4), 251-254, 2005
112005
Влияние кислорода на поведение примеси золота в кремнии
ДИ Бринкевич, ВЛ Крюков, Ф Мерааи, ВВ Петров, ЮТ Тужик, ...
Неорганические материалы 29 (12), 1587-1589, 1993
111993
The system can't perform the operation now. Try again later.
Articles 1–20