Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники АП Достанко, НВ Богуш, СВ Бордусов, ВП Василевич, ДВ Гульпа, ... Бестпринт, 2021 | 6 | 2021 |
STUDY OF PULSED AND CONTINUOUS MODES OF MICROWAVE DISCHARGE PLASMA GENERATION IN A RESONATOR-TYPE PLASMATRON OI Tsikhan, SI Madveika, SV Bordusau High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High …, 2021 | 4 | 2021 |
Исследование влияния электрических параметров импульсного источника питания СВЧ магнетрона на режимы генерации плазмы СВЧ разряда ОИ Тихон, СИ Мадвейко, СВ Бордусов ГГУ имени Франциска Скорины, 2022 | 3 | 2022 |
Исследование режима работы СВЧ магнетрона от инверторного блока питания ОИ Тихон Актуальные вопросы физики и техники: материалы X Респ. научной конф. студ …, 2021 | 2 | 2021 |
Исследование характера изменения величины СВЧ мощности в плазменном объеме при квазипостоянном режиме ее генерации ОИ Тихон, СИ Мадвейко, СВ Бордусов, АП Достанко, АС Лях, ... БНТУ, 2021 | 2 | 2021 |
Исследование режимов работы трехфазного импульсного источника питания СВЧ магнетрона на плазменную нагрузку ИА Жаворонок, ОИ Тихон БГУИР, 2021 | 2 | 2021 |
ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН В РЕАКЦИОННО-РАЗРЯДНОЙ КАМЕРЕ СВЧ ПЛАЗМОТРОНА РЕЗОНАТОРНОГО ТИПА ОИ Тихон, АС Бондаренко Физика конденсированного состояния: материалы XXX междунар. науч.-практ …, 2022 | 1 | 2022 |
Анализ особенностей нагрева кремниевых пластин СВЧ энергией в объёме СВЧ резонатора АС Бондаренко, ОИ Тихон БГУИР, 2021 | 1 | 2021 |
Исследование электрических режимов работы СВЧ магнетрона в составе плазменного технологического оборудования ОИ Тихон Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины, 2020 | 1 | 2020 |
Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа СИ Мадвейко, ОИ Тихон, ПА Тодин, СВ Бордусов, АП Достанко БНТУ, 2020 | 1 | 2020 |
Исследование влияния характера питания СВЧ магнетрона на оптические характеристики СВЧ разряда ОИ Тихон, СИ Мадвейко, СВ Бордусов Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины, 2020 | 1 | 2020 |
Investigation of silicon wafers' influence on the local microwave power values in a resonator-type plasmatron SI Madveika, SV Bordusov, MS Lushakova, OI Tihon Prague, 2019 | 1 | 2019 |
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА СВЧ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА С ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ СВЧ МАГНЕТРОНА ОИ Тихон, ИА Иванов Физика конденсированного состояния, 345-347, 2023 | | 2023 |
Влияние электрических характеристик импульсного источника питания СВЧ магнетрона на условия формирования плазмы в вакуумной камере плазмотрона резонаторного типа ОИ Тихон, СИ Мадвейко Наука и техника 22 (6), 487-494, 2023 | | 2023 |
Исследование зарядовых состояний в поверхностном слое кремниевой пластины и оксидной пленки после плазмохимической обработки ИА Жаворонок, ОИ Тихон БГУИР, 2023 | | 2023 |
Исследование влияния конструктивных характеристик плазменной камеры на режимы возбуждения СВЧ разряда МС Лушакова, ОИ Тихон, СИ Мадвейко БНТУ, 2022 | | 2022 |
Зарядовые состояния МОП-структур ИА Жаворонок, ОИ Тихон БГУИР, 2022 | | 2022 |
Анализ технологии плазменной обработки полупроводниковых структур ИА Жаворонок, ОИ Тихон БГУИР, 2022 | | 2022 |
Исследование эмиссионной спектральной характеристики плазмы СВЧ-разряда технологического назначения ОИ Тихон, СИ Мадвейко, СВ Бордусов Белорусско-Российский университет, 2022 | | 2022 |
Методика анализа стабильности свечения СВЧ плазменного разряда, возбуждаемого в резонаторе прямоугольной формы ПА Тодин, ОИ Тихон БНТУ, 2021 | | 2021 |